Verdampfer für einen Precursor

Die Medien die bei einem CVD Prozess zum Einsatz kommen liegen häufig als Gas vor und können somit einfach über Durchflussregler dosiert werden. Für die Abscheidung bestimmter Schichten liegt das zur Abscheidung erforderlich Element als Flüssigkeit vor. Hier kommen Verdampfersysteme für einen Precursor zum Einsatz.

Zu den besonderen Merkmalen der Verdampfersysteme gehört neben der Möglichkeit der Verdampfung ohne Trägergas die Möglichkeit aus einem Verdampfer mehrere Verbraucher zu versorgen. Es können entweder mehrere Prozesskammern gleichzeitig versorgt werden oder an einer Prozesskammer an verschiedenen Punkten Precursor-Dampf eingespeist werden. Eine weitere Option ist die Integration von 2 Verdampfern in einem System mit einer gemeinsamen Steuerung.

Die Möglichkeit aus 1 Verdampfer mehrere Verbraucher zur versorgen bietet gegenüber anderen Konstruktionen die Möglichkeit zum Einsparen von Bauteilen, Steuerungselementen und Montageraum. In der Summe kann man damit die Kosten senken.